【摘 要】
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实验用直流磁控溅射方法制备了TiNiCu合金薄膜.样品经真空退火处理后,利用X射线衍射,能谱分析,透射电镜,电阻-温度和X射线衍射线形傅里叶分析等手段和方法对晶化后的TiNiCu合
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实验用直流磁控溅射方法制备了TiNiCu合金薄膜.样品经真空退火处理后,利用X射线衍射,能谱分析,透射电镜,电阻-温度和X射线衍射线形傅里叶分析等手段和方法对晶化后的TiNiCu合金薄膜进行了测试与计算.得到了如下一些主要结论:(1)Cu对Ni的替换量高达25at%的TiNiCu合金薄膜依然表现出了其良好的记忆性能;(2)退火后的TiNiCu合金薄膜析出了Ti<,2>(NiCu)和Ti(Ni+Cu)<,3>两种析出相,而且随着退火条件的不同,析出相的大小,分布发生了变化;(3)析出相的分布与大小对合金薄膜的形状记忆效应有很大的影响,主要表现在对相变温度的影响;(4)热循环效应对TiNiCu合金薄膜相变行为有一定影响,随着热循环次数的增加,相变点Ms、As及Af下降,Mf和相变温度滞后有上升的趋势;(5)随着热循环次数的增加TiNiCu合金薄膜的平均位错密度和维氏显微硬度也增加,从而进一步解释了热循环效应对合金薄膜相变行为的影响.
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