随着越来越多的IC测试仪在集成电路行业被生产和使用,IC测试仪的校准工作也变得越来越不可或缺。为了确保IC测试仪的各项性能指标都能达到测试使用要求,保证IC测试仪上各测试模块的测量准确度,需要对IC测试仪进行全面的校准。论文主要任务是对IC测试仪各功能模块的各项参数的校准方法进行研究,提出具体的IC测试仪整体校准方案,设计相应的硬件电路并进行相关的校准调试工作以对校准方案进行全面的验证。具体的研究内容主要有以下几个方面:1、分析IC测试仪系统的特性及性能指标,明确校准目标,找出需要进行校准的功能模块标准参数,并确定这些被校准参数的规定指标;2、研究需要校准的参数的特点,根据具体的参数特性设计具有针对性的校准方案,并保证校准设计方案的可行性;3、根据IC测试仪校准方案的设计要求,完成IC测试仪校准硬件电路即校准板的设计,并具体分析校准板的设计过程;4、通过反复进行IC测试仪校准调试,验证校准方案的可行性并分析校准数据,进而完善校准设计方案以满足相关性能指标。