高温压力测试是许多重要领域(如能源领域中的石油开采测井等)急需的关键技术之一,也是测试技术领域长期存在的难题。针对高温压力的测试难题,本文提出了一种采用157nm深紫外激光加工制作微腔来实现高温压力精密测试的思路,研究的主要内容及取得的成果介绍如下:(1)首先设计一种光纤法珀级联双腔结构的压力传感器,可为高温压力双参数的测量提供一种可行方案。该传感器结构制作是基于157nm激光微加工技术制作出压力传感结构,然后完成了对传感器的温度、压力等参数特性的理论分析及实验探究,最后成功证实该传感器可实现温度压力同时测量。实验结果表明传感器在常温至400℃范围内,传感器的光程差变化与外界施加的压力呈高度线性相关,且该传感器在高温条件下工作时表现出良好的稳定性,可望成为高温压力测试的一种有效途径。(2)利用光子晶体光纤为纯石英结构这一优势,本课题在光子晶体光纤上设计了一种结构新颖的光纤法珀压力传感器。该传感器结构的制作同样基于157nm激光微加工技术实现,然后在实验测试过程中完成了对传感器的温度、压力等特性的测量。实验结果表明传感器在常温至700℃范围内,传感器的光谱波长位移与压力有良好的线性关系,能在高温环境中持续工作,此外实验结果也揭示了该类微腔结构具有随温度变化的自补偿机制(即传感器法珀腔腔长在温度变化过程中能保持相对稳定,具有天然的热不敏感性),从而证实该传感器能在高温压力精密测试中很好地克服温漂难题。本文设计了两种不同材料的光纤法珀压力传感器,主要在传感器结构设计创新、工艺制作、特性测试等方面进行了探索研究,发现这两种全光纤一体化结构的传感器能很好在高温环境下进行压力测试,且具有线性度高、性能稳定、抗电磁干扰、耐腐蚀、尺寸微小便于安装等优点。