大口径非球面表面形状测量关键技术研究

被引量 : 15次 | 上传用户:youpi100
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
针对目前大口径非球面元件的测量精度受限于仪器回转基准的空间回转运动误差,尤其是受限于轴向跳动等轴向回转运动误差的技术瓶颈,以及现有非球面元件的测量方法更无法兼顾高精度、大测量口径及非接触测量的技术现状,将单转位轴向空间回转运动误差的实时分离方法应用于大口径非球面测量中,同时又将光学非接触的差动共焦显微探测技术与表面轮廓的逐圆周扫描测量模式相结合,进而构建了新型的大口径非球面测量仪器,并针对大口径非球面高精度测量中涉及的仪器原理、测量方法及若干关键技术进行了深入研究。本论文完成的主要创新性工作如下:研究了针对大口径非球面表面形状高精度测量的轴向回转误差单转位分离方法与技术,并依据离散傅里叶变换和谐波分析等数学工具对该误差分离方法进行理论分析和仿真验证。然后,基于该误差分离技术,搭建了应用于大口径非球面测量的高精度气浮回转基准,并通过实验测试得出所研制回转基准的轴向和径向回转精度,为实现大口径非球面元件高精度测量中对回转基准所引入轴向回转误差的实时分离奠定技术基础。提出了基于空气静压支承技术的精密调心调倾方法与技术,该方法利用空气静压原理产生特定形状的偏心和倾斜调整气膜作为支承和导向,配合特殊布置的若干微位移驱动器进而实现偏心和倾斜位姿误差的调整。然后,依据该技术研制了用于大口径非球面测量的精密调心调倾回转工作台系统,再利用坐标变换等数学工具推导出驱动器位移与偏心和倾斜调整操作的关系,并进行仿真分析和实验验证。实验结果表明:所研制的精密调心调倾回转工作台在50Kg负载时的偏心调整分辨力为0.3μm,偏心调整范围±5mm,倾斜调整分辨力优于1.2″,倾斜调整范围±1.5°。为实现大口径非球面元件表面形状的非接触逐圆周扫描测量,依据共焦显微探测理论分析了针对大口径非球面表面形状特征进行测量时激光差动共焦探测技术的轴向响应函数,依据该响应函数的过零点特性研究了基于激光差动共焦过零触发的光学非接触表面形状测量方法,研制了基于该方法的表面形状探测装置,并通过系列实验测定该探测器的性能参数。实验结果表明:所研制探测器具备250μm的测量范围、4.934V/μm的灵敏度、5nm左右的位移分辨力和20nm的重复性,能够为所研制的新型大口径非球面表面形状测量仪器提供高分辨、大量程、非接触的光学扫描探测系统。应用上述的各关键技术,研究了新型非接触大口径非球面表面形状逐圆周扫描测量方法,并研制了基于该方法的新型大口径非球面测量仪器。然后,依据相关规程对所研制大口径非球面测量仪器的相关技术参数进行测试,实验测试结果表明:基于上述各关键技术研制的新型仪器能够满足大口径非球面元件表面形状测量的高精度、非接触、大测量口径等多重测量需求。最后,分析并建立了所研制大口径非球面表面形状测量系统的误差传递数学模型,利用该模型对所研制测量系统进行不确定度评定,评定结果表明:所研制系统的不确定度为U95≈0.1626μm (k=2),能够为大口径非球面表面形状特征等参数的高精度测量提供新的方法和技术途径。
其他文献
网络的进步促进了电子商务的迅速发展,而伴随着电子商务的蓬勃发展,消费者对网络购物的娱乐性感知-虚拟体验等方面的需求也逐渐增加,这反之引起电子商务网站建设的巨大变革。感
健全有效的内部控制体系是公司高效管理的必要部分,可以合理保证企业经营管理合法合规、资产安全、财务报告及相关信息真实完整,提高企业经营效率和效果,促进企业实现发展战略[1
现代化导致年轻一代对传统知识的排斥,现代快节奏生活方式对治本却疗效慢的传统医药的摒弃使得传统医药遭遇被侵占和盗用时难以获得有效的法律保护,随之而来的便是衰落和消亡。
上海世博村项目建设规模大、参建单位多、安全质量责任重、建设周期短,必须在业主方工程项目管理模式上做出创新,才能顺利实现项目目标。业主方在项目实施组织结构、风险管理
培训是人力资源开发的基本手段,是实现人力资本保值增值的关键环节,是企业能力提升的基础。培训评估是整个培训系统的重要组成部分,可以保证整个循环系统的完整性,有助于控制培训
<正>阿尔茨海默病(Alzheimer’s disease,AD)是一种原因未明的神经退行性疾病,以渐进性记忆障碍、认知功能丧失伴日常生活能力下降和行为改变为特征,其发病率随年龄增加而不
一、研究问题的提出早在70年代末,“过程写作法”(processapproach)在西方语言学家对传统的成果写作教学法(Productapproach)的批判中应运而生,并逐步地取代成果写作教学法的主流地
<正>回顾2014,眼镜零售业遭遇了颇多压力,进入经济新常态,零售企业高速增长的时代已远去;网络零售来势凶猛,各业态之间竞争在不断加剧,眼镜零售业的新一轮革命已拉开帷幕;零
信息技术对传统行业的渗透,使互联网企业在全球范围内得到了广泛的关注,尤其那些创业方向被风投基金看好的互联网公司,近几年增长迅速,在上市前的几轮的融资中,估值增加非常快。优
全球经济一体化的背景下,计算机代工行业的准入门槛降低,大量新的代工企业进入使产品和服务的差异化无法体现,同质化的价格竞争使成本低的企业才能获得订单和生存的机会。计算机