位相物体的测量与成像是光学领域的一个重要研究课题，生物、医学还是工业生产过程中，位相物体测量与成像技术都发挥着重要的作用。传统的位相物体成像技术，已经有很长的发展历史。随着显微测量技术的发展，部分成熟的技术也已产业化。但传统成像技术都只是停留在相位对比度和成像效果上，对于定量精度测量则发展缓慢，因此应用受到很大的限制。　　 针对上述的不足，课题组提出了一种位相物体测量与成像的新技术[1]--位相物体干涉测量与扫描成像技术，不但能实现对位相进行定量测量，而且能对位相物体进行成像，图像显示有多种形式，如伪彩图、灰度图和三维立体图形等。　　 本论文在原有的位相物体测量与成像实验系统基础上，对原有的图像反演相位算法进行了改进、提出了极值间距算法，同时改进了原有的杨氏干涉成像部分，对改进后的部分进行了对比试验，并对其进行分析，得到了有意义的结果。主要完成的工作及取得成果如下：　　 一、对原有的图像反演相位算法进行了改进，提出极值间距算法，在精度略有提高的基础上，明显的减少了系统的计算时间。　　 二、采用Visual C++6.0软件编写，将图像采集和图像反演相位算法进行整合，实现系统的全自动化。　　 三、改进了杨氏干涉系统部分，使在精度不变的基础上，明显的缩短了系统的尺寸，增加了系统的稳定性，便于系统的集成化和产品化。　　 四、对改进后的系统进行了多方面的对比实验并进行了理论分析。　　 五、通过不同波长激光器的实验，再次验证了系统的有效性，通过旋转测量的方法，显示了相位物体测量与成像系统的未来前景。