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作为超硬碳膜的类金刚石碳(diamond-like carbon，DLC)膜具有许多优异的物理化学性能，如极高的硬度、化学惰性、低摩擦系数、高阻抗、良好的热传导性和优良的光学透过性等，因而可以广泛用作光学器件、磁记忆器件、高温半导体材料、机械工具和医用矫形体的耐磨保护层等领域。DLC薄膜的各种特性在很大程度上取决于其制备方法与工艺条件。目前制备类金刚石碳膜一般采用物理气相沉积法和化学气相沉积法，包括离子镀、离子注入、离子束沉积、磁控溅射沉积、脉冲激光沉积和等离子体辅助沉积等。这些方法的共同特点是薄膜