ZnO基多元金属氧化物阻变开关的制备与研究

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【摘要】

：

随着存储器的快速发展,传统Flash存储器尺寸已经接近其物理限制。阻变存储器(RRAM)凭借其结构简单、功耗低、读写速度快、储存密度高以及与现有CMOS工艺相兼容等特点,被认为是下一代非易失性高密度存储器的有力竞争者。金属氧化物薄膜作为阻变开关介质层材料表现出了良好的阻变特性,是当前阻变存储器的研究热点,但要进一步实用化,则需解决阻变器件的重复性和稳定性问题,并明确器件阻变特性的机理,基于此,我们

【作者】

：

邓意峰

【机构】

：

电子科技大学

【发表日期】

：

2016年01期

【关键词】

：

IGZO薄膜 CGZO薄膜透明柔性器件阻变开关

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