石英管壁厚光电在线检测技术研究

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玻璃是构成各种光学器件最基本的材料。玻璃厚度是玻璃的重要参数之一,它直接影响玻璃质量的好坏和玻璃器件及光学仪器性能的优劣。通过对比研究采用一种用于石英玻璃管壁厚非接触测量的光电检测技术,并基于CCD器件的高分辨率、高灵敏度等特性以及分辨率高、性能稳定等优点,研制了石英玻璃管壁厚在线检测系统。在确定检测总体方案的基础上,进行了石英玻璃管厚度检测原理、发射光学系统、CCD器件选择和数据处理系统的研究,同时根据几何光学中反射与折射定律,利用三角关系建立了石英玻璃管壁厚H和光束宽度h之间的关系。系统整体结构调试并对实验结果进行误差分析,证明了方案的可行性。系统测量精度优于±0.005mm。误差分析和实际测量结果表明,满足光电在线非接触测量要求。
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