掩模传输系统是光刻机的重要组成分系统，主要承担掩模版的存贮、传输、定位和交换等工作，能够避免人与掩模版直接接触而对掩模版造成损害。随着集成电路的发展，电路集成度大大提高，工艺层大幅度增多，在光刻机中要求的掩模版数量也相应增多，从而对掩模传输系统的效率、可靠性等要求也更加严格。为确保实现掩模传输系统的各项功能、性能要求，在对掩模传输系统软件进行设计开发时，就必须以软件工程的理论方法为指导，保证掩模传输系统软件的质量。 论文首先简要说明了光刻机的工作原理，以及传输系统在光刻机中所起作用，介绍了光刻机的国外发展趋势和世界各国对光刻机研制开发的重视，论述了光刻机的国内发展现状和我国进行lOOnm步进扫描光刻机研发的必要性和迫切性，提出了进行本课题研究的意义。 在研究中本文首先对掩模传输系统软件进行了需求分析。论述了掩模传输系统的组成及电控架构。采用结构化分析方法，对系统的数据流自顶向下逐层分解，建立了RH系统的数据模型。研究确定了RH系统的所有软件功能、性能及接口要求，明确了系统界面需求。在需求分析基础上，论文对掩模传输系统软件进行了概要设计和详细设计。概要设计中，分析确定了RH系统软件的总体架构和系统的分层结构图，说明了分层结构图中各模块的功能及模块间调用关系。进行详细设计时，重点讨论了RHAM、RHPP、RHPR模块的实现细节。最后本文论述了RH系统软件的系统测试过程，列举了采用黑盒测试法设计的部分测试用例。通过软件测试，可以帮助软件开发人员修改和完善RH系统软件，从而提高了RH系统软件的可靠性以及软件的开发质量。 通过本课题研究，完成了对掩模传输系统软件的设计开发，掌握了进行RH系统软件设计开发的科学方法，同时为其他工程应用软件的开发者提供了可参考的方法，不但可以保证掩模传输系统应用软件的质量，推动掩模传输系统的设计制造，而且对推进我国lOOnm步进扫描投影光刻机的研发，也具有积极作用。