论文从精度上讨论了微机械陀螺的发展，分析了微机械陀螺工艺研究对提高陀螺性能的重要作用。介绍了目前微机械陀螺的三种工艺，分析了基于SOG技术的微机械陀螺工艺目前存在的问题，提出了本文的研究内容和章节安排。　　 论文从微机械陀螺基本原理出发，对微机械陀螺的关键结构进行了探讨，在此基础上介绍基于SOG技术的微机械陀螺的整体工艺流程及关键工艺。　　 论文从电场角度分析了基于SOG技术的微机械陀螺在结构释放过程中的Footing效应，介绍了悬浮结构Footing效应的解决方案，提出了一种解决锚点位置Footing效应的新途径，并通过实验验证。　　 论文研究了基于SOG技术的微机械陀螺的工艺误差，确定了陀螺结构层及关键结构尺寸误差对加工出的器件的影响。结合工艺实践，对背腔刻蚀、KOH减薄、结构释放等关键工艺中存在的若干问题给出了自己的经验和理解。　　 最后，对本文的内容进行总结，对后续工作进行了展望。