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基于硬质薄膜的研究现状,主要分析两种具有代表性的硬质薄膜—氮化物薄膜和类金刚石薄膜的最新研究进展及存在的主要问题,提出了本论文的选题依据。利用反应磁控溅射技术,分别以氮气和甲烷作为气源制备Ti Al VN薄膜和金属掺杂类金刚石碳(DLC)薄膜。主要研究工作围绕三个方面:(1)Ti Al VN薄膜结构、力学性能、抗电化学腐蚀性能研究;(2)ZrTi双金属掺杂DLC薄膜结构及摩擦学性能研究;(3)ZrTi双金属掺杂DLC薄膜不同介质下的摩擦学行为及汽车高压共轨直喷系统镀膜柱塞的台架试验。主要研究结果