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随着信息时代的发展,信道拥挤现象越来越严重,为了提高频谱利用率,要求单一的通信系统能够覆盖不同的通信信道实现跳频通讯(通信信道可调可切换)。而可调滤波器作为跳频通讯技术中的核心部件更是受到了人们广泛关注。其中铁电可调滤波器由于体积小、响应速度快、易集成等特点成为了搭建低成本、高性能跳频通讯平台最具潜力的选择。依据实验室现有的工艺条件,本文研究内容和结果如下:1.通过降低退火温度和降温速率,有效地避免了由于蓝宝石和BST材料的热膨胀系数不同而导致的薄膜开裂现象。并且根据所制作的MIM结构电容的测试结果,确定了蓝宝石基片上所制作的BST铁电薄膜的介电系数约为160,介电可调率大于40%(40V偏压),介电损耗小于0.02等重要参数。2.针对上电极在加厚过程中很容易导致器件细微结构短路这种情况,提出了外电路连接的上电极加厚方法。通过实验对比发现采用这种方法可以有效避免上电极在加厚过程中出现的短路现象,并且在器件制作过程中减少了一次对准光刻,简化了工艺步骤的同时在一定程度上减小了由于对位不精确带来的制作偏差,更好的控制了上电极图形的精度。3.采用改进后的制备工艺,成功地在蓝宝石基片上制作了谐振频率约为1.14GHz的梳状线可调滤波器。并且通过对上电极加厚处理使器件的插入损耗减小8dB。对器件性能进行分析,根据实测结果对滤波器的原有结构进行了优化仿真。4.采用电路仿真软件ADS和电磁仿真软件HFSS设计了一中心频率为890MHz的集总LC可调滤波器,3dB带宽约为180MHz。调谐电容介质材料的介电可调率设为30%时,滤波器的中心频率由890MHz移动到1080MHz,调谐率约为21.3%。器件采用薄膜平板大电容作为偏置电路的隔直电路,使滤波器可以直接通过端口加载直流信号进行调谐,这种无加压点的设计大大降低了器件制作和封装的难度。最后通过仿真结果验证了设计的可行性。