激光加工光学系统的优化设计研究

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激光扫描振镜系统因为具备加工精度高和扫描速度快等优点,可以有效地提高激光加工的效率,改善加工的质量,所以在激光加工领域得到广泛应用。本论文针对IPGYLP-6000光纤激光器的性能参数,优化设计出能在最大输出功率下正常工作的高功率激光扫描振镜和外光路系统,其中外光路系统包括光束准直和整形两个部分。经过实验验证,分析了现有扫描振镜存在的设计缺陷,总结出高功率扫描振镜系统的设计原则。根据扫描振镜和激光加工工艺对入射光束大小的要求,按照几何光学原理计算扫描振镜中反射镜片的合理尺寸和安装位置,通过研制连接座实现反射镜片与连接座的高精度装配。利用Solidworks软件设计扫描振镜的总体结构,优化设计电机底座结构、水冷系统、风冷系统和整体装配结构,提高了扫描振镜系统结构的安全性和可靠性,整体结构更加紧凑、合理。通过实验验证和理论分析,说明了现有外光路系统中的准直系统和整形系统存在的问题,在综合考虑激光功率、光束质量和激光损伤机理等因素的基础上,对外光路系统进行了整体优化设计,包括对入射光束的准直扩束、激光束的整形处理、外光路系统中低阶激光鬼像的避免等。通过ZEMAX软件对光学系统的优化设计,提出了解决现有外光路问题的技术方案,满足了扫描振镜在高功率情况下的实际使用要求。
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