磁力传动技术是通过永磁材料或电磁铁磁极所产生同性相斥、异性相吸的磁力作用，来实现力或转矩无接触传递的一种新技术。随着上世纪70年代后期稀土永磁材料出现以后，磁力传动技术得到了迅速的发展与应用。由于磁力传动器可以在传动的同时通过附加密封罩起到隔离密封的作用，可以考虑将它应用在IC制造业的真空机器人上，以保证IC制造业对洁净程度和真空环境的要求。 本文首先分析并介绍了国内外真空机器人和磁力传动器的研究和发展现状，然后介绍了磁性材料的发展情况，采用了将稀土永磁体应用于磁力传动器的方法。随之介绍了课题的来源和主要研究内容。 论文介绍了磁力传动器的分类情况，并结合本课题所研究的真空机器人确定了所要设计的传动器的基本类型，并对这一类型的磁力传动器的特点和功能做了简要阐述，同时建立了其三维模型和设计模型。随后介绍了稀土永磁体的特性，并选取了磁路各部分所采用的永磁材料。针对磁力传动器设计中的核心磁路部分做了详细的介绍，通过做一些基本假设建立了磁力传动器磁路部分的模型，然后通过ANSYS建模来进行磁场分析，并结合关系曲线来初步选取磁极对数和其他一些关键的参数。 论文介绍了磁力传动器机械本体的设计过程与设计方法。在设计过程中，首先根据经验公式和给定的力矩计算出其中某一个参数，然后根据相应的关系曲线和实际情况来确定其他参数。整体结构在这里被分为许多相对独立的部分来进行设计。在设计过程结束以后，采用经验公式法对所设计磁力传动器所能传递的转矩进行了定量验证计算，并得到了相应的结果。 论文第五章对设计的合理性进行了分析和验证，对所设计磁力传动器的结构和性能参数进行了分析比较，并采用有限元方法对磁极数进行了优化。同时对设计过程中产生的问题和不足之处进行了讨论和分析，针对其不足之处进行探讨并提出了改进方法。最后计算了涡流损失，验证了磁性材料的工作点，重新选择了磁性材料，并对下一步工作提出了展望。