微机电系统是集微型机械、微传感器、微执行器、信号处理、智能控制于一体综合型系统,在国防、通信、汽车、生命科学等领域中有着广泛的运用。近年来,随着微机电系统技术的迅速发展,对器件运动性能检测的需求也日益迫切。本文主要探讨了基于激光差动多普勒原理的微机电系统的运动检测技术,研究测量微型振子等微机电器件的瞬时速度、位移、加速度等运动参数的方法。论文在前期的探索上,对原测量系统的光路结构、特别是信号处理模块和硬件设计进行了改进和优化。改进了原系统的光路结构,实现了符合测量要求的微小光斑,降低了光斑内的速度梯度。采用了时频分析的方法,优化了软件处理模块,提高了系统的测量精度。设计了信号的采集处理电路,替代数据采集卡进行采集和处理,降低了系统的成本,并为将来系统的便携化、高效测量研究进行了先期探索,提供一定的研究基础。在对谐振器进行运动检测的基础上,论文还对器件的振型进行了初步的分析,获得谐振器的固有振型。通过对一系列微机电系统谐振器样品、微型马达、加速度校准仪等被测物的成功检测,表明本测量系统可用于微机电系统的运动检测。