首先介绍了太阳能的开发与利用。具有绒面结构的ZnO薄膜,用作非晶硅薄膜太阳能电池的透明电极,可以提高入射光程,增大光的吸收利用,提高电池的效率。利用磁控溅射直接制备绒面结构ZnO薄膜。随着偏压的增大,ZnO的002择优取向受到抑制,出现100、101等多个衍射峰,表面形貌粗糙,光学透过率下降;随着溅射功率的增大,薄膜的晶粒变大,结晶质量提高,出现绒面结构;随着衬底温度的升高,ZnO薄膜在150℃时出现了101的择优取向,温度继续升高,薄膜出现002的择优取向;溅射气压的大小和膜的厚度,影响薄膜的择优取向;退火温度进一步改善了ZnO薄膜质量。本文得到制备绒面ZnO薄膜的优化条件:本底真空5×10^-4Pa、偏压130V、溅射功率200W、溅射气压1Pa、衬底温度150℃,制备出的ZnO具有类金字塔的绒面结构。对绒面结构进行比较,先溅射制备镜面结构的ZnO薄膜,然后采用刻蚀技术,制成陨石坑状绒面结构,与直接溅射制备的金字塔形貌ZnO薄膜进行对比,发现金字塔形貌的ZnO薄膜在300nm-400nm和600nm-900nm波长范围内的陷光作用更好。