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由于电力电子器件的市场对酸腐蚀片的需求,如何制备低粗糙度的酸腐蚀片越来越研究受到关注,而酸腐蚀工艺对粗糙度的影响却鲜有报道。本文讨论的酸腐蚀工艺对腐蚀片粗糙度的影响,发现随着腐蚀厚度的增加酸腐片的粗糙度越来越小;而随着温度的升高酸腐片的粗糙度变小;腐蚀较多硅片的腐蚀液腐蚀硅片粗糙度较大。
酸蚀刻单晶硅片粗糙度研究
【摘 要】
：
由于电力电子器件的市场对酸腐蚀片的需求,如何制备低粗糙度的酸腐蚀片越来越研究受到关注,而酸腐蚀工艺对粗糙度的影响却鲜有报道。本文讨论的酸腐蚀工艺对腐蚀片粗糙度的影
【机 构】
：
中环领先材料技术有限公司;
【发表日期】
：
2004年期
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