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[期刊论文] 作者：马建修,
来源：梅山科技 年份：2001
梅山3号高炉投产后，热风炉效率提高，自用高炉煤气量减少，高炉煤气放散时增加，既浪费能源又污染环境。建设1台20t/h全烧高炉煤气锅炉，在锅炉设计时充分采用新技术及相应措施，确保了......
[期刊论文] 作者：马建修,,
来源：低温与特气 年份：2014
随着太阳能、半导体、微电子等行业的快速发展,用作等离子刻蚀及清洗气体的电子级氟碳类气体的工业化研究与生产已成为国内外广泛关注的焦点。而生产设备工艺的选材是该类产...
[会议论文] 作者：马建修,
来源：2014`全国半导体器件产业发展、创新产品和新技术研讨会暨第七届中国微纳电子技术交流与学术研讨会 年份：2014
本文将从八氟丙烷生产工艺、工艺控制及质量控制、生产安全及环境净化三个方面进行介绍.其中,在八氟丙烷生产工艺中介绍了合成路线;在工艺控制中重点介绍了氟化过程和纯化过...
[期刊论文] 作者：马建修,廖恒易,,
来源：低温与特气 年份：2015
就八氟丙烷生产工艺、工艺控制与质量控制、生产安全及环境净化三个方面进行介绍。其中,在八氟丙烷生产工艺中介绍了合成路线;在工艺控制中重点介绍了氟化过程和纯化过程的控...
[期刊论文] 作者：马建修,靖宇,孙加臣,
来源：科学技术创新 年份：2020
溴化氢气体对装置的强腐蚀性难题一直制约着国内外企业的产业化发展,目前适用于该装置的设备材料选型、结构设计与特殊加工技术的改进手段相对有限。基于TRIZ方法,通过功能分...
[期刊论文] 作者：马建修, 王维佳, 李广新, 靖宇,,
来源：低温与特气 年份：2019
三氯化硼在精细化学品、航空航天、材料加工及半导体领域具有不可替代的作用。三氯化硼在大规模集成电路金属铝层刻蚀制程中起到重要作用,其纯度与质量要求较为严格。详尽地...
[期刊论文] 作者：马建修,靖宇,杜文东,吴祥虎,
来源：科技成果管理与研究 年份：2021
溴化氢与同族的氯化氢相比,具有更强的吸湿性,能够快速结合成水合物,进而导致溴化氢对纯化装置的腐蚀。目前国内对极易吸湿气体中痕量水深度脱除方法研究相对有限,限制了高纯溴化氢在集成电路制造、医药领域的高端应用。基于TRIZ方法,通过功能分析、冲突和物场......
[期刊论文] 作者：于涛, 王运东, 刘作华, 马建修, 靖宇,,
来源：化工学报 年份：2021
目前硫化氢(H2S)日益成为制约工业化发展的一个重要因素,即使在较低的浓度下仍会破坏环境、腐蚀设备。如何能将含硫气体清洁、高效、深度脱除已成为国内外学者的研究重点。吸...
[期刊论文] 作者：杜文东, 马建修, 张杰, 舒冬永, 靖宇,,
来源：低温与特气 年份：2019
针对高纯电子级四氟化硅中卤代硅烷恒沸物及金属杂质难以去除的两大难题,采用溶剂萃取精馏法,通过评价5种萃取剂的萃取能力,筛选出一种非极性萃取剂。通过萃取剂的弱氢键作用...
[期刊论文] 作者：靖宇,马建修,杜文东,马莉,江丽娜,
来源：低温与特气 年份：2020
高纯溴化氢在半导体、医药、新材料及先进装备制造等高精尖行业,正发挥着重要的作用,需求量逐年提高。与同系列的氯化氢气体相比,溴化氢气体具有更强的吸湿性、质子电离及腐...
[期刊论文] 作者：马建修,靖宇,杨振建,汤萍,王新鹏,
来源：低温与特气 年份：2019
在高纯电子级四氟化硅生产与纯化中,很容易产生氟硅醚杂质,甚至可以与四氟化硅进一步聚合生成氟硅醚高聚物。该高聚物可从胶体迅速聚集成颗粒,很容易堵塞管道和吸附剂,极易发...
[会议论文] 作者：唐忠福,肖三,桂思祥,马建修,夏致远,
来源：全国特种气体第十六次年会 年份：2012
随着半导体产业的迅猛发展，高纯四氟化碳(CF4)的需求日益显现。然而，生产高纯CF4的技术报道较少，限制了微电子产业的发展进程。综述了国内外氟碳直接合成四氟化碳的工艺技术......
[期刊论文] 作者：马建修,靖宇,王运东,刘作华,杜文东,吴祥虎,
来源：低温与特气 年份：2021
为解决高纯电子级溴化氢源头制备的工程技术难点,对溴化氢合成过程的各基元反应进行了深度剖析,采用随机算法进行了动力学模型构建与模拟。通过公式推导,并结合实验结果,得到...
[期刊论文] 作者：马建修,靖宇,王运东,刘作华,杜文东,吴祥虎,
来源：低温与特气 年份：2021
为解决高纯电子级溴化氢源头制备的工程技术难点,对溴化氢合成过程的各基元反应进行了深度剖析,采用随机算法进行了动力学模型构建与模拟.通过公式推导,并结合实验结果,得到...
[期刊论文] 作者：靖宇,马建修,王运东,刘作华,吴祥虎,杜文东,
来源：低温与特气 年份：2021
为解决高纯电子级溴化氢源头制备的工程技术难点,延续先前溴化氢合成反应的本征动力学研究,作者将研究视角从微观动力学理论转向宏观火焰学研究。重点对溴化氢合成火焰形态、...
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